檢測更嚴 台積電交貨期恐拉長

台積電因光阻劑出包調降本季展望,

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,熟悉半導製程專家表示,

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,光阻劑是否有問題,

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,很難在進料前檢驗出來。此次事件之後,

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,台積電勢必更會為相關檢測把關,

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,雖然有助於降低出包率,

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,但也恐因此提高晶圓製程線上檢測頻率,

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,導致先進製程交貨期拉長、成本因而增加,成台積電未來要克服的難題。台積電強調,已通知所有受到此次事件影響的客戶,並與其保持密切聯繫,同時個別溝通替代方案和產品交期。公司也已採取行動,加強線上晶圓檢測並對進貨原料更嚴加控管,以因應日益複雜的先進製程技術。 專家表示,半導體化學品品項眾多,以光阻劑為例,一定要經過黃光製程曝光反應後,才能知道每批光阻劑的特性,很難在進料前就會發現瑕疵。台積電這次事件,應是讓矽晶施作跑到製作完成,在檢測晶圓電訊特性時才發現有異,但晶圓前段曝光影像製程速度相當快,如果無法在晶圓檢測發生缺陷時就先擋下,就會面臨嚴重後果。,

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